应用场景

  >> 高校、研究所、企业

  >> 新一代高速高精度图形化设备、满足小批量生产

  >> 集成电路，MEMS、微光学、微流体、传感器、计算机全息图

技术特点

  >> 高精密直线电机运动平台，支持8”基底

  >> 采用大功率405nm LD 激光器（选配DPSSL 紫外激光器）

  >> 自动聚焦和CCD对准

  >> 分区定位，多基片阵列曝光

  >> 扫描式曝光，支持灰度曝光

  >> 3D导航自动聚焦

  >> 支持GDSII,DXF,BMP等文件格式