应用场景

  >> 精密掩膜板
  >> 柔性电子
  >> 传感器（MEMS/NEMS）
  >> 生物芯片Bio-chip
  >> 科学研究 （微纳制造）
  >> 精密印刷掩膜板
  >> 集成成像
  >> 微光学元件
  >> 红外偏振器件
  >> 纳米图形（可选）
  >> OLED光效提取图形
  >> 镂空掩膜板
  >> 教育（微电子、光学、先进制造、机电）
  >> 平板显示 
  >> 光学防伪
 

技术特点

  >> 支持8”－65”幅面

  >> 高速图形化，高速SLM

  >> 高精度浮运动平台

  >> 频闪平铺光斑曝光（ Flash Tile Beam Lithography(FTBL)。采用DPSSL UV 激光器

  >> 3D 导航自动聚焦

  >> 支持GDS II,DXF,BMP等文件格式