应用场景

  >>超材料结构特性研究
  >>纳米透镜、全息透镜制备
  >>裸眼3D显示的纳米导光板
  >>光子晶体阵列制备
  >>裸眼3D显示的纳米尺度背光源研究
  >>其他复杂纳米结构的光刻研究
  >>LED/OLED纳米衬底
  >>全息图
  >>衍射光学元件
  >>连续可变焦距菲涅尔透镜阵列研究

技术特点

  >> 位相分束模式空频连续设定，150nm - 5μm

  >> 采用大数值孔径紫外干涉光学系统

  >> 高速高性能，视场达到100um

  >> 飞行曝光高速光刻

  >> 3D导航自动聚焦

  >> 支持GDSII, DXF, BMP等文件格式